고진공중에 놓여진 시료표면에 미세한전자선을 이용항여 주사한 후 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자,투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부기전력등의 신호를 검출하여 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량등의 분석을 행하는 장치.
◆Resolution :1.0 nm at 15 kV
1.4 nm at 1 kV (Deceleration mode)
2.0 nm at 1 kV (Standard mode)
◆Magnification :LM 20 ~ 2,000X
HM 100 ~ 800,000X
◆Electron gun :cold cathode field emission electron source
◆Accelerate Voltage :0.5 ~ 30 kV (0.1kV/step)
◆Lens : 3-stage electromagnetic lens, reduction type
◆Detector :SE + BSE, EDS
◆ 분석가능 시료 크기 : 조각 시편 ~ 100mm dia
◆ 시료 이동 거리 :
X=50mm, Y=50mm, Z=1.5 to 25mm
Tilting=-5° to 60°, Rotation=360°
표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함
예약 취소 수수료 안내
- 분석 1일전 취소 : 없음
- 당일취소 : 기기이용 수가의 50%
- 분석 진행중 취소 : 취소불가
| 구분 | 항목 | 단위 | 교외 | 교내 | 타대학 | 기타 | 비고 |
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분석의뢰 |
기본료 | 측정시적용 | 15,000 | 15,000 | 15,000 | ||
| 분석료 | 시료 | 10,000 | 10,000 | 10,000 | |||
| 추가요금 : Pt, Au, Carbon 코팅 | 회 | 10,000 | 10,000 | 10,000 | |||
| 추가요금 : Freeze Drying | 시간 | 5,000 | 5,000 | 5,000 | |||
| 추가요금 : EDS 측정 | 시료 | 15,000 | 15,000 | 15,000 | |||
| 추가요금 : EDS Mapping 측정 | 시료 | 20,000 | 20,000 | 20,000 |
