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원자현미경 [ Scanning Probe Microscope ]
 
ㅁ모델/제작사 : XE-100 / PSIA
ㅁ기기담당 : 김화정
ㅁ전화번호 : 061 - 450 - 6151
ㅁ전자우편 : baby5653@hanmail.net
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상세설명

* 원리 및 특징

미세한 탐침을 시료표면 가까이 가져갔을 때 생기는 원자간의 상호 작용력을 이용하여 표면의 topography와 morphology를 측정하고, 3차원적 이미지를 제공하는 장치이며 원자 지름의 수 십분의 일(0.01nm)까지 측정해 낼수 있고 일반 대기 중에서서 시료표면의 전처리 과정없이, 즉 도체, 반도체, 및 부도체에 상관없이 3차원 형상을 측정함로써 폭, 높이, 각도, 거칠기 등 3차원적 정보를 얻을 수 있다.


* 구성 및 성능
● Microscope Stage, Head and Scanner
- 최대 시료 크기 및 두께 : 100mm x 100mm, 20mm 두께
- 최대 시료 무게 : 500 g
- 시료 이송 거리 : 수동 Micrometer를 이용한 최대 25mm x 25mm
- X, Y : Up to 50 um
- Resolution : < 0.15 nm
● Z Scan range :
- Up to 12 um
- Resolution : < 0.05 nm
- Z stage : 이송거리 30 mm, 0.08 um 해상도 및 30,000 step/sec
● SPM Head 능력
- 접촉식, 준 접촉식 및 비 접촉식 AFM, LFM, MFM, FMM, Phase image, EFM, DC-EFM, I/V Spectroscopy,Liquid operation, Nanolithography, Force vs. Distance curve


* 용도
전기, 전자, 재료, 물리, 화학, 금속등의 Roughness,Magnetic Force, I/V curve등

단위                     교내                     교외
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시료                  10,000                      15,000
* (3~1um) : 20,000 (1um미만): 30,000 <-교내
* 출력(A4칼라) : 3,000원/장당


* 직접사용 및 캔틸레버 지참시 50% 할인
* 직접사용 15% 할인
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