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전계방출형 전자현미경 [ Field Emission-Scanning Electron Microscope ]
 
ㅁ모델/제작사 : S-4800 / Hitachi
ㅁ기기담당 : 김화정
ㅁ전화번호 : 061 - 450 - 6151
ㅁ전자우편 : baby5653@hanmail.net
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상세설명

고진공중에 놓여진 시료표면에 미세한전자선을 이용항여 주사한 후 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자,투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부기전력등의 신호를 검출하여 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량등의 분석을 행하는 장치.


◆Resolution :1.0 nm at 15 kV
1.4 nm at 1 kV (Deceleration mode)
2.0 nm at 1 kV (Standard mode)
◆Magnification :LM 20 ~ 2,000X
HM 100 ~ 800,000X
◆Electron gun :cold cathode field emission electron source
◆Accelerate Voltage :0.5 ~ 30 kV (0.1kV/step)
◆Lens : 3-stage electromagnetic lens, reduction type
◆Detector :SE + BSE, EDS
◆ 분석가능 시료 크기 : 조각 시편 ~ 100mm dia
◆ 시료 이동 거리 :
X=50mm, Y=50mm, Z=1.5 to 25mm
Tilting=-5° to 60°, Rotation=360°



교내 ============================================================
◆ 시료관찰 : 10,000원/hr(기본) + 7,000원/시료
◆ 코팅 - Pt & C : 5,000/회, OsO4 : 10,000원/회
◆ EDS : 10,000원/hr(기본) + 7,000원/시료 + 액체질소 11,000원

- 교외는 교내의 1.5배 적용
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