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X-선 회절분석기(HRXRD) [ X-ray diffractometer(High Resolution XRD) ]
 
ㅁ모델/제작사 : X'pert-pro MRD / PANalytical / Netherlands
ㅁ기기담당 : 김화정
ㅁ전화번호 : 061 - 450 - 6151
ㅁ전자우편 : baby5653@hanmail.net
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상세설명

* 원리 및 특징
Thin film 위주 시료를 분석하는 장비로서 결정의 기하학적 특징, 내부구조 및 그 성질들에 관하여 연구하는 학문에 주로 활용되고 있다. X-ray 회절자료를 통하여 물질의 분자구조 규명에 활용할 수 있다. 각종 물질의 결정구조를 파악하고 혼합물 상태에서 정성분석 및 각 물질별 함량 비를 정량적으로 분석하는데 유용하며 아울러 상태연구, 결정입도 측정 및 방위 의 결정과 응력측정을 할 수 있다.




* 구성 및 성능
- X-ray geneator : 3㎾
- X-ray tube : Cu
- Sample Stage
        Cradle for Material Research Diffractometer(MRD)
        4 inch Wafer holder
        In-plane diffraction system
- Incident Beam Optics
        Fixed Divergence Slit
        4-Crystal Monochromator
        X-ray Mirror
        Automatic beam attenuator



* 용도
재료의 결정분석, 상분석, Thin film 분석, Rocking Curve, Residual stress, Reflectivity, Texture 분석




* 측정 이미지(클릭시 큰이미지를 보실수 있습니다.)






* 관련업체
송지산업(http://www.songjee.com)






1) Film(시료+반시간 7,000+3,000) 
2) XRR등S.A(시료+반시간 15,000+5,000)
3) RSM(시료+반시간 20,000+5,000)
* 교외는 교내의 1.5배적용



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