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공실관주요사업> 물리분야
 
 

금속 피막 두께 분석
물질의 Roughness/Topo분석
물질의 Crystal structure분석
Unknown 시료에 대한 Identification
     

   1. 분석방법: 금속피믹 - 피막두께 측정 - 주사전자현미경 방법(KS D 8516)
                      시료를 15등분해서 각각의 두께를 분석하고 평균을 구하여 두께 값을 구함.

   2. 대상 장비 : Field Emission Scanning Electron Microscope (S-4800, Hitachi)

   3. 분석 사례 : TiN/Si 시료에 대한 TiN의 피막 두께 분석

        

  

   
   1. 분석원리: 탐침을 이용하여 물질의 거칠기(Roughness) 및 표면 Topograph 분석

   2. 대상 장비 : Scanning Electron Microscope (XE-100, Parksystem)

   3. 분석 사례 

         

                                                       <ZnO 박막>

          

                                                             <Human hair>

 

   
   1. 분석원리:

   2. 대상 장비 : High resolution  X-ray Diffractometer.

   3. 분석 사례 

       

 

   

   1. 분석원리 : Unkwon 시료에 대한 물질의 동정(Identification) → 고체시료에 국한됨
                      1) 1단계 : EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)를 이용
                                    시료의 구성원소에 대한 major 성분을  분석
                      2) 2단계 : XRD(X-ray Diffractometer)를 이용.
                                     EDS에서 분석한 데이터를 바탕으로 시료에 대한 화합물 분석(Identification)

   2. 대상 장비 : Energy Dispersive X-ray Spectrometer, Powder  X-ray Diffractometer

   3. 분석 사례 : 벽돌표면에서 채취한 흰색 분말가루 분석

        1) EDS 분석데이터

        

        2) Powder XRD 분석데이터